El proceso de limpieza del tubo es una parte crítica de la preparación. Me parece que usar el primer paso de limpieza para eliminar las impurezas metálicas funciona bien. Si tuviera que grabar primero HF, puede grabar el vidrio alrededor de la impureza metálica, pero no necesariamente eliminarlo. Si solo tiene grabado de HF, pueden permanecer algunas impurezas metálicas. Aquí está mi enfoque para el proceso de limpieza de tubos:
- Para el primer paso, se puede usar Aqua Regia (una mezcla de ácido de ácido nítrico de ácido clorhídrico y agua). Un ciclo de limpieza ácido típico es de 30-60 minutos con Aqua Regia para eliminar las impurezas metálicas, seguido de un enjuague de agua DI. Es posible que desee ajustar el tiempo según su proceso.
- El siguiente paso es grabar las superficies de vidrio, limpiando el interior y el exterior. La mayoría de los operadores de MCVD usan ácido hidrofluórico. Una concentración del 15% durante 30-60 minutos es un buen punto de partida. Es posible que desee ajustar el tiempo y la concentración para su proceso.
- Siga ese ciclo de grabado con un enjuague DI final y seque con nitrógeno para evitar manchas de agua.
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